清华大学精密仪器系

智能微系统技术研究室隶属于精密仪器系仪器科学与技术研究所。主要研究方向包括微米/纳米技术、微纳卫星技术、光电检测技术等。目前已完成和承担科研项目40余项，其中包括973项目3项，重大专项项目1项，863项目16项，国家科学基金项目11项，国际合作项目1项，其他国家和部委项目16项等多项科研任务。获国家技术发明二等奖1项、科技进步二等奖2项，教育部科技进步一等奖1项、二等奖3项、技术发明二等奖1项，北京市科学技术发明一等奖1项、技术进步二等奖2项，国防科技进步二等奖1项等。